„Clean room“ naudojimo instrukcijos
1. Dirbdami su lustu, turite dėvėti pluošto neturinčias pirštines ir naudoti švarų, švarų pincetą, kad laikytumėte lustą. Nelieskite mikroschemos pirštų ar nieko kito. Užteršti lustai turi būti valomi prieš juos naudojant:
(1) Jei liečiami bet kokių pincetų priekiniai galai (ty laikant lustų galą), arba pincetai nuleisti, jis turi būti pašalintas. Nevalykite nešvarių pincetų popieriniu rankšluosčiu ar audiniu.
(2) Prieš kitą lusto valymo žingsnį, jei jį liečia pirštu, jis turi būti dar kartą išvalytas.
(3) Padėkite lustą ant kvarco valties. Kai jis yra pasirengęs patekti į krosnies vamzdį, jei naudojami pincetai yra dažyti arba lustas yra aiškiai užterštas pincetu, lustas turi būti išvalytas ir pakeistas švariais pincetu. .
2. Lustas turi būti dedamas į dėžutę, padengtas ir saugomas nurodytoje padėtyje, kad jis nebūtų atskleistas.
3. Venkite kalbėti ant lusto, kad užkirstumėte kelią seilėms purkšti ant lusto. Prieš lizdą patekus į difuzijos krosnį, atkreipkite ypatingą dėmesį į tai, kad būtų išvengta minėtų veiksmų. Jei lustas yra padengtas pūkeliu, purškite jį azoto pistoletu.
4. Teflono valtyje, kvarciniame ratelyje (QuartzBoat) ir kituose nešikliuose, pašalinant lustą, jis turi būti pakeltas vertikaliai, kad nesubraižytų lustas. Mikroskopo objektyvas jau yra išjungtas iš lusto. Išimkite lustą iš laikiklio.
5. Jei mikroschemoje užaugintas oksido sluoksnis, nenaudokite deimantinio peilio, kad jį būtų galima graviruoti ant lusto prieš išsiunčiant jį į geltoną kambarį.
6. Kai dirbate, ranką niekada negalima įdėti į kriauklę, jei dėvėti pirštines.
7. Naudodami cheminę stotį ar orkaitę, norėdami apdoroti lustą, būtinai įdėkite lustą į teflono valtį. Nenaudokite plastikinės dėžutės.
8. Įdėjus lustą ant kvarco valties, jei lustas patenka ant žemės ar rankoje, lustas turi būti išvalytas dar prieš patekdamas į oksidavimo krosnį.
9. Nelieskite mikroschemos dėžutės viduje. Jei jis liečiamas arba užterštas skaldytomis lustomis, jį reikia valyti dar kartą.
10. Pirštinės, popieriaus atliekos ir kiti įvairūs daiktai neturėtų būti palikti ant konsolės. Jei pirštinės yra sudegintos, dėvimos ar turi daugiau skaidulų, jas reikia pakeisti.
11. Niekada neatidarykite nepažįstamų prietaisų ir įvairių įjungimo vožtuvų valdiklių ar rankenų be instrukcijų.
12. Informuokite atitinkamą personalą, jei keista skonio ar nenormalaus reakcijos tirpalo, spalvos, garso ir kt.
13. Kai prietaisas sugadintas dėl veikimo klaidos, būtinai nedelsdami informuokite atsakingą asmenį arba mokytoją.
14. Lusto dėžutė turi būti švari ir švarioje patalpoje ir supakuota į plastikinę plėvelę.
15. Naudokite švirkštimo priemonę ir nešiojamą nešiojamąjį kompiuterį įrašymui švarioje patalpoje. Paprastai popierius ir pieštukas neturėtų būti vežami.