Puslaidininkių pramonės aplinkos apsauga
Didėjant žmonių supratimui apie aplinką, taip pat atkreipiamas dėmesys į aplinkos apsaugos klausimus. Turime tik vieną planetą. Kaip apsaugoti mūsų gyvenamąją aplinką kuriant ekonomiką tapo aktuali tema. Sumažinti pasaulinės aplinkos naštą, užtikrinti saugą ir sveikatą bei saugoti aplinką. Energijos taupymas ištekliams taupyti, atliekų perdirbimui, atliekų mažinimui ir cheminių medžiagų išleidimo valdymui tapo žmonių sutarimu apsaugoti aplinką. Kartu su ISO 14000 sertifikavimo skatinimu ir 21-ojo amžiaus žaliosios gamyklos kūrimo tikslu žmonės aktyviai dėjo pastangas aplinkos apsaugos srityje. Puslaidininkių gamybos pramonės ypatumai leido įvairioms pramonės šakoms skirti daugiau dėmesio aplinkos apsaugos klausimams.
Visuotinio atšilimo poveikio prevencija
Pasaulinio klimato atšilimo poveikio prevencija tapo karšta tema, kuri pastaraisiais metais buvo plačiai susijusi. Puslaidininkių gamybos pramonėje yra dvi pagrindinės problemos:
1. Energijos taupymas
Puslaidininkių pramonės gamybos įranga, oro kondicionavimo įranga, šalto / šilumos šaltinio įranga, gryno vandens, skysčio tiekimo, išmetamųjų dujų, dujų, elektros įrangos ir kt. Naudojimas nuolat veikia 24 valandas per parą, 365 dienas per metus. ir sunaudoja daug energijos. Iš energijos suvartojimo rūšies elektros ir energijos sudaro apie 85%, o energijos šaltiniai, pvz., Kuras ir garai, sudaro 15%. Naudojant elektros energijos suvartojimą, gamybos proceso pradžios įranga yra apie 40% -50%, oro kondicionavimas, šaltų / šilumos šaltinių įranga yra apie 30%, o kita pagalbinė įranga - apie 25%.
Energijos taupymas, sąnaudų mažinimas ir produktų konkurencingumo didinimas yra uždaviniai, kuriuos įmonės įgyvendina ilgą laiką. Viena vertus, per technologinę esamų įrenginių pertvarką galima pasiekti didelę ekonominę naudą, tačiau, kita vertus, dabar investicijos į puslaidininkių gamyklas yra didžiulės, technologijų plėtra yra labai greita. Kaip puslaidininkių pramonė, būsima energijos taupymo mokslinių tyrimų kryptis turėtų būti atliekama šiais aspektais:
Gamybos įranga: pagerinti energijos konversijos efektyvumą ir taip pagerinti energijos naudojimą, kad būtų pasiekti energijos taupymo tikslai; sumažinti energijos suvartojimą įrenginio budėjimo būsenoje, atitinkamai sumažinti oro kondicionavimo apkrovą, kad būtų pasiekti energijos taupymo tikslai; sumažinti įrangos išmetamųjų dujų kiekį Išmetamųjų dujų apdorojimo apkrova sumažinama, kad būtų pasiekti energijos taupymo tikslai; įrenginio montavimo sritis yra sumažinta, kad būtų galima valdyti valymo zonos plotą, kad būtų pasiektas energijos taupymas.
Pagalbinė įranga: įrangos mažinimas; didelio valymo zonos ploto mažinimas, siekiant sumažinti oro cirkuliacijos energijos suvartojimą energijos taupymui; oro kondicionavimo sistemos naudojimas su mažu slėgio nuostoliu; naujų izoliacinių medžiagų panaudojimas, siekiant paskatinti energijos suvartojimą; Naudokite anglies dioksidą, susidarantį mažinant energijos suvartojimą.
Produktų kūrimas ir procesų kūrimas: aukštos pridėtinės vertės produktų kūrimas; į sąnaudas orientuotas produktų kūrimas (mažesnis lustų plotas, proceso standartizavimas, projektavimo ciklo sutrumpinimas); didinti gamybą (didinant produkcijos kiekį, mažinant inžinerinį skaičių ir sutrumpinant bandymo laiką).
Pats puslaidininkių pramonės vystymasis tapo aukštos kokybės, lengvu, plonu ir mažos energijos kiekiu. Prisidėjo prie mašinų ir įrangos energijos taupymo krypties. Tikimės, kad bus įdiegta nauja energijos taupymo įranga.
2. Sumažinkite PFC
PFC (PREFLUOROCARBON) daugiausia naudojama puslaidininkių gamybos CVD inžinerijoje, kaip valymo dujos, ir kaip procesų dujos sausoje ofortinėje inžinerijoje. PFC buvo įtrauktas į išmetamųjų teršalų kiekio mažinimą dėl jos gebėjimo sunaikinti Žemės ozono sluoksnį. Dauguma jų nėra tiesiogiai apdorojami ir išleidžiami tiesiai į atmosferą, o PFC emisijos mažinimas yra svarbus klausimas, su kuriuo ateityje susiduria puslaidininkių gamybos pramonė.
Būsimose mokslinių tyrimų kryptyse daugiausia dėmesio bus skiriama šiems aspektams:
Išmetamos PFC perdirbimo sistemos kūrimas (įtraukiant, kaip efektyviai ir ekonomiškai perdirbti, atskirti ir tobulinti PFC); naujų PFC apdorojimo technologijų kūrimas (PFC pavertimas ne šiltnamio efektą sukeliančių dujų emisija)); alternatyvių dujų kūrimas (šiuo metu naudojamų dujų keitimas mažomis pasaulinio atšilimo koeficientu turinčiomis dujomis; naujų procesų kūrimas (naujų ėsdinimo procesų tyrimai).
Japonijos planas kontroliuoti PFC emisiją elektronikos pramonėje, paskelbtas 1998 m. Balandžio mėn., Siūlo sumažinti išmetamųjų teršalų kiekį, pagrįstą 1995 metais. Iki 2010 m. Kiekvieno projekto išmetamų teršalų kiekis bus sumažintas 70%. Linija sumažinama 10%. Jungtinės Valstijos taip pat nustatė puslaidininkių pramonėje naudojamo PFC panaudojimo rodiklį. Čia šalies pramonės atstovai raginami anksti atkreipti dėmesį į šį klausimą.