Dalelių kontrolės metodas
Dalelių valdymas tokioje didelėje aplinkoje yra didžiulis iššūkis ir turi didelį poveikį derliui. Todėl būtina gaminti patikimus, kartojamus metodus, skirtus analizuoti internetinius produktų duomenis ir pataisyti su procesu susijusius defektus didesniems, aukštesnės kokybės ir prieinamiems LCD. Tai reiškia, kad stiklas turi būti patikrintas kritinių gamybos proceso metu, siekiant užtikrinti, kad dalelės būtų pašalintos prieš plokštelę ir LCD medžiaga būtų galutinai pritvirtinta.
Prieš pasirodant ekranui, reikia patikrinti pikselius, kuriuos LCD jutiklis atlieka, kai bus įjungtas maitinimas, kad būtų galima nustatyti, ar vaizdo elementai gali veikti. Atliekant bandymą, jei po mikroskopu atsiranda juoda dėmė, atsirandanti dėl matomų dalelių, problemai išspręsti paprastai galima lazeriu dujinti arba išjudinti. Tačiau, jei dalelės yra viduje, kai LCD medžiaga yra pritvirtinta tarp stiklo, ji negali būti pataisyta. Tai, ką galite padaryti, yra nustatyti taršos šaltinį, kad jį būtų galima suremontuoti prieš tai, kai daroma daugiau žalos. Laimei, ekrano gamybos procese yra tik keturi ar penki procesai, todėl lengva rasti taršos šaltinius. Tai gali sukelti proceso įrangos gedimas, žmogaus klaida ar švarumas.
Siekiant nustatyti, ar proceso įranga skleidžia per daug dalelių, proceso inspektorius naudoja lazerinių dalelių skaitiklį, kuris taip pat stebimas naudojant įprastą oro stebėjimo prietaisą, ir naudoja HEPA filtrą, kad pašalintų nedidelę ore esančių molekulinių teršalų koncentraciją iš proceso ar įrangos . Kai kuriuose pažangiuose ekrano gamintojuose, procesų įrangoje, orkaitėse ir dulkių siurbliuose visi turi HEPA filtrus, kurie pakeičiami taip, kaip planuota, ir visa aplinkinė aplinka taip pat turi oro laminarinio srauto valdymo sistemą. Oro srauto greitis palaikomas 90 FPM (+/- 20 FPM), nes jei oro srautas yra didesnis nei 110 FPM, sukuriama turbulencija, todėl dalelės sukasi visą kambarį. Iškirpimo ir segmentavimo srityje susidaro daug stiklo dalelių, o stiklo paviršiaus valymui ir dalelių pašalinimui iš oro ir prietaiso paviršiaus naudojamas dulkių siurblys su HEPA filtru.
Darbuotojai turėtų laikytis griežtos darbo drabužių siuvimo sistemos; nėra makiažo ar purškimo kvepalų; visi įkrovikliai, įskaitant skudurą, šluostę ir filtrus, turi būti sterilizuojami ir supakuoti į dvigubus maišelius, prieš juos įvežant į gamyklą. Švarios patalpos drabužiai plaunami kartą per savaitę ir prieš naudojimą atliekami dalelių bandymai. Drabužių tiekėjai reguliariai peržiūrimi vandens, įrangos ir prevencinės techninės priežiūros metodai, taip pat aplinkos dalelės, kad užtikrintų, jog jie atitinka švaros kambario standartus. Reguliariai stebėti gamyklos temperatūrą ir drėgmę; reguliariai valyti visą sistemą, imtis higienos priemonių ir atlikti prevencinę priežiūrą; valymo proceso metu reguliariai nuvalykite proceso įrangą, kad pašalintumėte trūkstamas daleles; stebėti ir laiku pakeisti ploviklius ir cheminius filtrus.
Akivaizdu, kad gebėjimas kontroliuoti teršalus jau dešimtmetį vis dar atsilieka nuo puslaidininkių pramonės, o teršalų kontrolė tebėra problema. Siekiant išspręsti procesų apdorojimo taršą, reikia kuo greičiau pašalinti pavojų ir pagerinti tikrinimo bei remonto metodus. Įrenginių gamintojai nori matyti gamybos technologijos plėtrą, tačiau ekrano gamintojų skaičius yra didelis ir nepriklausomas, todėl pažangių procesų taikymas buvo sunkus. Todėl ilgalaikėje perspektyvoje turėtų būti nustatytas vienodas standartas teršalų kontrolės srityje. Nors įmonės turės pakeisti savo vidaus operacijas, kad atitiktų standartinius reikalavimus, standartai galiausiai gali sumažinti įrangos išlaidas. Todėl standartas ateis vieną dieną.