Statinės elektros pavojai mikroelektronikos švariose patalpose
Padidėjus statinei elektrai sumažės elektroninių gaminių kokybės rodiklis, elektromagnetiniai trukdžiai sutrikdys automatinės įrangos darbą, o dėl elektrostatinės adsorbcijos apsunkins paviršiaus dalelių surinkimą, todėl taip pat būtina kontroliuoti statinės elektros susidarymą. Kadangi elektrostatiniai krūviai iš tikrųjų pritraukia teršalus ant gaminio ar įrankių paviršių, švariose patalpose elektrostatinė adsorbcija tampa dėmesio centre. Pavyzdžiui, kai 4-colių plokštelė įkraunama 1 KV, 1 mikrono skersmens dalelių adsorbcijos jėga pasieks 830,000 svarų kvadratiniame colyje. Todėl elektrostatinė adsorbcija tarp įkrautų objektų ir dalelių bus stipresnė už gravitaciją, aerodinamines jėgas ir sukibimo jėgas.
Pagrindiniai statinės elektros pavojaus apraiškos švariose elektronikos pramonės dirbtuvėse yra šios:
1. Sugerti dulkes. Dėl elektrostatinės adsorbcijos švariose patalpose esančios oro dalelės adsorbuojamos ant elektroninių komponentų paviršių ir sienų, o tai turi įtakos gaminio kokybei ir švarai. Statinė elektra taip pat tapo nauju dulkių šaltiniu švariose patalpose.
2. Sukelti gaisrus ir sprogimus. Elektronikos pramonės švariose patalpose naudojamas didelis kiekis degių ir sprogių dujų, skysčių ir organinių tirpiklių. Statinė elektra gali tapti šių dujų (skysčių) ir tirpiklių uždegimo šaltiniu, sukeldama gaisrus ar sprogimus.
3. Korona išlydis arba kibirkštinis išlydis skleidžia triukšmą ir trukdo elektroninei įrangai bei elektroniniams komponentams.
4. Sukurkite elektrostatinį elektrinį lauką, sukeldami trumpąjį jungimą, nuovargį arba sugadindami elektroninius komponentus.
Dėl šios priežasties nuolatinis technologijų tobulinimas mikroelektronikos pramonėje taip pat yra nuolatinio antistatinės technologijos tobulinimo apraiška. Elektrostatinės apsaugos sistemų turinys tampa vis gausesnis. Be įprastų personalo apsaugos sistemų (antistatiniai drabužiai, antistatiniai batai, antistatiniai riešų dirželiai ir kt.), Be aparatinės įrangos apsaugos sistemų, tokių kaip statinio pašalinimo įranga, reikia sukurti dar daugiau programinės įrangos elektrostatinės apsaugos sistemos.