Elektrostatinės apsaugos pagrindinės idėjos ir techniniai metodai
Elektrostatinis iškrovimas gali sugadinti įrenginį, tačiau, imantis tinkamų ir tinkamų ESD apsaugos ir kontrolės priemonių ESD sistemai sukurti, ESD gali būti pašalinta arba kontroliuojama, kad būtų sumažintas komponentų pažeidimas. Yra dvi pagrindinės elektrostatinės apsaugos ir jautrių įrenginių valdymo idėjos:
1. (1) Užkirsti kelią statinės elektros kaupimui vietose, kur gali atsirasti įžeminimas, ir imtis tam tikrų priemonių, kad būtų išvengta elektrostatinio iškrovimo atsiradimo arba sumažintas jų kiekis, arba taikyti „nuotėkio generuojant pusę“ metodą, kad būtų išvengta elektros energijos kaupimosi. . Mokestis yra kontroliuojamas tiek, kiek jis nekelia žalos.
1. (2) Kaupkite sukauptą mokestį greitai ir patikimai.
2.1 Proceso kontrolės metodas
Suprojektuoti taip, kad gamybos proceso metu būtų kuo mažiau statinio krūvio. Šiuo tikslu imamasi priemonių, susijusių su proceso srauto, medžiagų parinkimo, įrangos įrengimo ir eksploatavimo valdymo aspektais, siekiant kontroliuoti statinės elektros energijos susidarymą ir kaupimąsi, taip pat sustabdyti elektrostatinio potencialo ir elektrostatinio iškrovimo galimybes, kad nebūtų viršijamas laipsnis. žalos. Kaip ir puslaidininkių gamybos procese, dejonizuoto vandens atsparumas skalavimui turi būti kontroliuojamas po to, kai baigiamas seklios jungties formavimo greitojo įrenginio procesas. Kuo didesnis atsparumas, tuo geresnis valymo efektas, bet kuo didesnė varža, tuo didesnė statinėje elektros energija, sukurta mikroschemoje. Todėl jis paprastai kontroliuojamas šiek tiek aukštesniu nei 8 MΩ lygiu ir negali būti 16-17 MΩ pradiniam procesui. Be to, pasirinkus medžiagas, pakavimo medžiagos turėtų būti naudojamos antistatinėms medžiagoms, stengtis išvengti neapdorotų polimerinių medžiagų.
2.2 Nuotėkio metodas
Ji skirta statinei elektrai pašalinti per nuotėkį. Paprastai elektrostatinis įžeminimas yra elektrinio krūvio nutekėjimas į žemę; taip pat yra įrenginio elektrinio laidumo didinimo metodas, kuris sukelia žemės nutekėjimą išilgai objekto paviršiaus ar vidinės dalies, pavyzdžiui, elektrostatinio agento pridėjimą arba drėgmės didinimą. Dažniausiai tai yra antistatinis riešo diržas, kurį dėvėjo personalas ir statinis įžeminimo postas.
2.3 Elektrostatinio ekranavimo metodas
Pagal elektrostatinio ekranavimo principą jį galima suskirstyti į du tipus: vidinį lauko ekranavimą ir išorinį lauko ekranavimą. Konkreti priemonė yra įkrauti korpusą atskirti nuo kitų objektų su įžemintu ekrano dangteliu, kad įkrautos kūno elektrinis laukas nedarytų įtakos kitiems aplinkiniams objektams (lauko ekrano viduje); kartais ekranuotas dangtelis naudojamas izoliuotam objektui apsupti, kad jis būtų apsaugotas nuo išorinių elektrinių laukų (išorinio ekranavimo). Pavyzdžiui, „GaAs“ įrenginio pakete naudojamas metalinis korpusas arba metalinė plėvelė.
2.4. Neutralizavimo metodas
Juo siekiama pašalinti statinį krūvį taikant sudėtingą neutralizavimą. Įžeminimo šalinimo įrenginio panaudojimas komplekto su įkrautą joną gamybai įkrautame korpuse, siekiant neutralizuoti. Apskritai, kai įkrautas korpusas yra izoliatorius, kadangi elektrinis įkrovimas negali patekti į izoliatorių, įžeminimo metodas negali būti naudojamas elektriniam krūviui nutekėti. Tokiu atveju, norint neutralizuoti skirtingus jonus, reikia naudoti antistatinį šalintuvą. Šis metodas naudojamas elektrostatinio krūvio, susidarančio ant konvejerio juostos, pašalinimui.
2.5 Švarios priemonės
Sukurtas siekiant išvengti pertrūkių. Šiuo tikslu įkrautos kūno ir aplinkinių objektų paviršius turi būti išlaikytas kuo sklandžiau ir švariau, kad būtų išvengta pertrūkių.