Joninių ventiliatorių naudojimo aukštųjų technologijų gamyboje sąlygos



Jonų ventiliatoriaus apkrovos technologijos pakeitimas turės įtakos statiniam izoliacinių medžiagų valdymui aukštųjų technologijų gaminių gamyboje. Statinės elektros kontrolė yra gamybos efektyvumo gerinimo, kokybės gerinimo ir pelno didinimo pagrindas. Gaminant puslaidininkius, standžiuosius diskus ir plokščiuosius ekranus (FPD), elektrostatinis valdymas yra viena iš pagrindinių gamybos sąlygų. Statinės elektros nekontroliavimas reiškia, kad gaminiai kenčia nuo didelio joninio užterštumo (ESA problema) ir elektrostatinės iškrovos (ESD problema), kurią sukelia elektrostatinė trauka.
Tokios organizacijos kaip ESD asociacija ir Semiconductor Equipment and Materials International turi statines valdymo sistemas, kurios pašalina statines problemas. Pagrindinis būdas tai padaryti yra naudoti statines laidžias medžiagas ir statinę elektrą išsklaidžiančias medžiagas (įskaitant žmogaus kūną), kad būtų galima tiesiogiai prisijungti prie žemės ir išsklaidyti statinę elektrą. Tačiau tiek pačiame gaminyje, tiek darbo aplinkoje neišvengiamai naudojamos izoliacinės medžiagos.
Kai izoliacija yra neatskiriama paties materialaus produkto dalis, jos pakeisti negalite. Pavyzdžiui, silicio plokštelės su oksido sluoksniais yra naudojamos gaminant aukštųjų technologijų gaminius, vieno laido įtaisus, įdėtus į epoksidines dervas, izoliacines medžiagas ant prietaisų kaiščių, epoksidines spausdinimo plokštes ir stiklo lakštus FPD pramonėje. Be to, teflonas, kvarcas ir daugelis plastikinių medžiagų yra aukštos temperatūros, atsparios korozijai ir yra suderinamos su švariomis patalpomis, tačiau visos jos yra izoliacinės medžiagos. Įžeminimas nepanaikina izoliacinių medžiagų statinių krūvių, todėl daugeliu atvejų lieka vienintelė galimybė – neutralizavimas oro jonizacija. Tam reikia naudoti specialią statinio pašalinimo įrangą.

