ESD apsaugos reikalavimai švarioms patalpoms
Nesvarbu, kaip keičiasi išorinės oro sąlygos, "Cleam Room" gali išlaikyti švaros, temperatūros, drėgmės ir slėgio savybes, kaip buvo nustatyta iš pradžių.
Pagrindinė švarios patalpos funkcija yra kontroliuoti atmosferos, su kuria liečiasi produktai (pvz., Silicio lustai ir kt.), švarą, temperatūrą ir drėgmę, kad produktus būtų galima gaminti ir gaminti geroje aplinkos erdvėje. Ši erdvė vadinama "švariu kambariu".
Pagal tarptautinius standartus švarios patalpos lygis daugiausia grindžiamas dalelių skaičiumi kubiniame metre oro, kurio skersmuo yra didesnis už klasifikavimo standartą.
Švarus kambarys turi būti įrengtas pagal šiuos reikalavimus:
1. Antistatinės grindys: atsparumas nuo taško iki taško<10e9ω; point-to-ground=""><>
2. Antistatinė sieninė plokštė: varža iš taško į tašką<10e9ω; point-to-ground=""><>
3. Antistatinis langas: varža iš taško į tašką<10e9ω; point-to-ground=""><>
4. Patikima įžeminimo sistema: varža iš taško į tašką<>
5. Oro jonizacijos sistema: Nustatykite balanso įtampos intervalą ir de-energijosavimo laiką pagal proceso technologiją. Rekomendacija: balanso įtampa<>